JEVATEC 真空計

無源 Bayard-Alpert 離子化傳感器

壓力測量范圍為 10-2 毫巴至 10-11 mbar

測量精度高，重復性好

兩根客戶可更換的釔涂層銥絲

與氣體類型相關的測量原理

真空連接 CF 標準 DN40CF

傳感器裝在帶保護網的不銹鋼管中

無管浸入式傳感器

帶插拔式連接電纜的傳感器可烘烤至 250 °C 與 JEVATEC 和 VACOM 的真空控制單元兼容 可與現有組件組合使用

JEVATEC 真空計 技術數據

真空測量：

測量范圍     10-2 - 10-11 mbar

測量原理：Bayard-Alpert 熱陰極電離

精度 (N )：      測量值的± 10 % (1-10-2 - 1-10-8 mbar) 2

重復性：測量值的± 5

靈敏度：約 15 mbar-1（帶電子管）

X 射線極限：3-10-11 mbar

與氣體類型有關：是

傳感器

真空連接： CF 標準 DN40CF

燈絲數量 2（拉伸），可由客戶更換

燈絲（陰極） 銥絲，釔涂層

抗過壓能力：1.5 bar abs.

材料： 不銹鋼

管材：不銹鋼 1.4301

插入式觸點 鎳鐵合金，鍍金

真空中的材料：不銹鋼 1.4301、玻璃陶瓷、銅、鎢、鉬、鉑、金、Y O on Ir 2 3

電源

功耗： ≤ 15 W（脫氣）

≤ 5 W（測量模式）

連接：專用電纜（見附件）

烘烤溫度：

帶插頭和電纜：最高 250°C

使用：室內（最高海拔 2000 米）

重量：約 0.9 千克